小型匀胶机 型号：EZ4

EZ4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。
　　EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

产品性能参数：


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圆晶）

速度可调范围：100-10000rpm
加速度可调范围：100-10000rpm/s
转速分辨率：1rpm 
转速精度：＜±5rpm
可编程5组5步程序 
宽电压输入：AC100-230V

产品特性优点：


75W 直流无刷电机，单片机控制
高清晰文本显示器 
可单步和多步匀胶操作

PP耐腐蚀内腔，可更换 
铝合金阳氧化外壳，美观大方 
耐溶剂PC透明盖 
多角度定位铰链设计 
HDPE真空吸盘
产品外型尺寸： 250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)