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椭圆偏振测厚仪技术特点
点击次数：628 更新时间：2022-02-28

椭圆偏振测厚仪技术文章

仪器介绍
TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节，自动测量薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。
规格参数
测量范围薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量厚度最小示值（nm）≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚精度（nm）±1
折射率重复性精度±0.01
入射角调节范围20°～90°精度为0.05°
入射光波长（nm）632.8
光学中心高（mm）80
允许样品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*290
主机重量（kg）25

 

配置表



型号名称数量
基本配置
TPY-1椭圆偏振测厚仪主机1台
TPY-1主机电控箱1套

二氧化硅膜样片1片
TPY-1椭圆偏振测厚仪专用软件1套
需另配计算机及打印机1套



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