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高精度程控匀胶机
点击次数:145 发布时间:2019-09-05

高精度程控匀胶机型号:SYSC-100A 
一.    产品应用 
SYSC-100A高精度程控匀胶机(Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是Z新一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。 
二.    产品特点 
1.     旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机,具有高精度、高稳定性、高可靠性。 
2.     优异的旋转加速性能,Z大旋转加速度可达40000rpm/s(有负载的真实加速度)。 
3.     两项安全互锁功能: 
 (1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能,确保腔体关闭后才可启动,防止匀胶过程中飞片造**身伤害; 
 (2) 真空吸片具有真空检测功能,若发生真空泄漏,基片无法吸附牢固,则立即停止运行。 
4.     机身外壳采用SUS304不锈钢制作,防腐蚀、不生锈、易清洁。 
5.     匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料,经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液,避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。 
6.     旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料,经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。 
7.     匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程Z多可分十段进行,每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序,随时调用。 
8.     7英寸液晶触摸屏使控制更方便;运行状态及各项参数实时显示,更直观了解匀胶进程; 
9.     真空泵的开启与关闭均为自动程序控制,无需手动操作。 
10.   旋转前增加预吸片步骤,“预吸片时间”Z多为99s,确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤,“解吸片时间”Z多为99s,确保安全停止后再切断真空,释放基片,防止涂膜后的基片滑落,对膜层造成损伤。 
11.   标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。 
三.    技术参数 
产品型号SYSC-100A 
可镀膜基片尺寸Ø10~100mm 
旋转速度10~8000rpm 
转速分辨率1rpm 
速度精度<0.02% 
旋涂加速度*0~40000rpm/s 
每段加速时间999.9s 
每段旋涂时间9999.9s 
时间分辨率0.1s 
预吸片时间99s 
解吸片时间99s 

**大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm基片)的真实加速度.

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